日前，北京大学信息科学技术学院微纳电子学研究院研究生程晓亮、毛逸飞和张立获得由全球领先的微机电系统（MEMS）技术和晶圆制造服务提供商Innovative Micro Technology公司（IMT）所提供的2016年度奖学金，以鼓励他们在使用碳氟等离子体无掩膜皱纹结构的可控制造、聚焦离子束应力引入技术、硅-玻璃键合结构（Silicon On Glass, SoG）工艺质量监控和工艺相关参数提取方面的研究成果和技术突破。
2015年，微纳电子学研究院与IMT公司签署战略合作协议，内容之一就是设立专项奖学金，每年颁发给三名（个）学生或团队，为MEMS器件制造工艺技术及其相关领域的人才培养和基础研究提供支持。作为国内首次专门面向MEMS制造工艺技术开发而设立的奖学金，IMT-北京大学微纳电子学研究院奖学金旨在激发学生应对通信、人类健康、农业优化、可再生能源等领域中迅速发展的技术、应用和创新。近两年，已有5名学生和1个学生团队获此殊荣。
相关链接：IMT成立于2000年，专业生产MEMS器件，研发和制造基于MEMS技术的新型产品，拥有占地130000平方英尺的生产厂，其中包括一间30000平方英尺的百级超净室，是世界上最大、配置最精良的MEMS晶圆厂之一。IMT提供MEMS量产以及从设计到生产过程的制造服务，所服务的企业分布在医疗诊断、生物医学、微流体、显示屏、光学通信、射频器件、传感器等及其相关应用领域。
