师资队伍

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郭俊敏

职称:工程师

研究所:微纳电子学研究院

研究领域:微电子设备维修

办公电话:86-10-62752674

电子邮件:kuojm@ime.pku.edu.cn

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教育经历

1997.9~2001.7 北京科技大学 材料物理专业 本科

 

主要研究方向

修理 AME,ASE,HRM,LPCVD,PECVD,PVD,RIE,SEM,光刻机,键合机,快速退火炉,划片机,蒸发台,膜厚仪,表面轮廓仪。