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张威

职称:副研究员

研究所:微纳电子学研究院

研究领域:MEMS传感器,MEMS技术、产品、应用及标准化研究

办公电话:86-10-62754694

电子邮件:weizhang@pku.edu.cn

个人主页:

科研/教育经历

1986.8-1990.7 哈尔滨市,哈尔滨船舶工程学院机械系,学士

1994.8-1997.7 哈尔滨市,哈尔滨工程大学机电学院,硕士(在职)

2000.8-2003.7 北京市,北京大学信息科学技术学院,博士

1990.8-2000.7 哈尔滨市,电子科技集团49研究所,工程师

1996.12-1997.11 美国,RAE SYSTEMS公司,访问学者

2003.8-2005.7 北京市,北京大学信息科学技术学院,讲师

2005.8-现在 北京市,北京大学信息科学技术学院,副研究员


研究成果概况

完成科研项目:

北京市:“多轴力传感器”;

工信部创新基金:“MEMS湿度传感器”:

科技部863:“汽车ESP用系列微传感器”;

国防:“振动角量传感器”、“机器人多维力传感器”、“MEMS加速度传感器”、“MEMS冲击开关”、“高精度加速度传感器”等。

获奖:“振动角量传感器”、“机器人多维力传感器”获部级科技进步二等奖。

获得专利:

MEMS压阻式伺服加速度传感器及其制备方法,ZL03104781.5;

一种加工制造微电子机械制造元器件的方法,ZL03127940.6;

压阻式微型气体流量计芯片及制备方法和流量计,ZL03104785.8;

MEMS压阻式压力传感器芯片及其制备方法,ZL03104784.X;

热扩散压阻式MEMS压力传感器芯片级老化方法,ZL200510011463.9

申请专利:

一种MEMS微加速度的结构及其制造方法,201110082218.2;

压阻式大过载加速度计及其制备方法, GF保密;

单片集成压阻式抗高过载三轴加速度计, GF保密;

一种阵列式抗高冲击加速度传感器的结构及其制造方法, GF保密


主要学术任职

中国电子学会高级会员,会员号E19005498S;

全国微机电技术标准化委员会(SAC/TC336)委员;

仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事;

担任国际电工委员会IEC(SC47F)专家,TC47WG7、SC47F/WG3召集人

是国家首个JY标准“MEMS传感器通用规范”主要起草人, 国家标准“MEMS薄膜材料鼓胀测试评定标准”---主要起草人,国家系列MEMS标准评审专家,作为IEC中国专家评审国外标准,进行投票。