师资队伍

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郝一龙

职称:教授

研究所:微纳电子学研究院

研究领域:微机电系统/宽禁带器件

办公电话:86-10-6275 5145

电子邮件:haoyl@pku.edu.cn

个人主页:

科研/教育经历

1981年进入北京大学计算机系微电子专业学习,分别于1985年、1991年和2004年获学士、硕士及博士学位。

中国微米纳米技术学会常务理事,中国电子学会敏感技术分会副主任委员。


研究成果概况

近年来主要工作集中在MEMS设计加工技术、微型加速度计及三代半导体技术研究工作,曾主持开发了表面牺牲层技术等MEMS加工工艺;主持了新型化学传感器,电容式、谐振式和隧穿式等MEMS器件的开发。目前工作重点为高精度微型加速度计和压力传感器。近十年来发表文章100余篇,获专利4项,合作出版教材1部,获国家发明二等奖1项,北京市科技进步一等奖一项,北京市精品教材一部。