师资队伍

您现在的位置是:首页 > 师资队伍 > 院士
A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z

李婷

职称:教授级高级工程师

研究所:微纳电子学研究院

研究领域:微纳米制造技术

办公电话:86-10-6275 2674

电子邮件:liting@pku.edu.cn

个人主页:

教育背景:

1991年8月在北京工业大学,半导体物理与器件专业获学士学位

 

主要研究领域:

微纳结构制造工艺开发和工艺流程及版图设计、大型工艺平台运行管理

 

主要科研项目:

作为项目负责人,分别主持重点实验室基金“金硅键合技术研究”和国家863项目“过程控制硅压力传感器及系统”项目,经费共计213万元;

1996年至今,作为技术骨干参与20余项MEMS工艺和器件相关的NSFC、973、863、电子预研、重大专项课题、重大科技计划等国家级科研项目;

 

主要获奖成果

“硅基MEMS技术及应用研究”获2003年北京市科技进步一等奖、2006年国家技术发明奖二等奖(王阳元,张大成,郝一龙,闫桂珍,李婷,张海霞);

IEC(国际电工委员会)微机电领域第一个中国提案标准的核心团队人员;

多次获得北京大学实验技术奖和先进实验室奖;

 

主要学术任职:

北京大学微电子工艺实验室副主任