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张大成

职称:教授

研究所:微纳电子学研究院

研究领域:微纳加工技术,MEMS器件

办公电话:86-10-62755816/3130

电子邮件:dchzhang@ime.pku.edu.cn

个人主页:

教育经历

1984年北京工业大学半导体器件专业学士,2000年和2005年分别在北京大学获微电子学与固体电子学硕士和博士学位。


主要研究领域

微纳加工工艺及工艺质量评估方法、MEMS传感器芯片、工艺相关微纳结构力学特性表征方法


主要科研项目

1996年至今,承担NSFC、973课题、863、电子预研、重大专项课题、重大科技计划等国家级科技计划中与MEMS工艺相关的项目,累计经费超过3000万元。


主要获奖成果

“硅基MEMS工艺技术及应用研究”获2003北京市科技进步一等奖,2006年国家技术发明二等奖;IEC(国际电工委员会)微机电领域第一个中国提案标准的负责人,获2017年IEC 1906奖(IEC标准杰出贡献奖,当年有16个中国人获奖)


主要学术任职

微纳电子学研究院常务副院长、国家微机电标委会副主任委员、IEC 47F(微机电标委会)工作组专家、微电子学科发展委员会成员